潔凈棚風速的控制很重要。
潔凈棚內的氣流是左右潔凈室性能的重要因素,一般潔凈室的氣流速度是選0.25~0.5m/s之間,此氣流速度屬微風區(qū)域,易受人、機器等的動作而干擾趨于混亂、雖增加風速可緩和此一擾亂之影響而保持潔凈度、但因風速的增加,將影響運轉成本的增加,所以應在達到要求的潔凈度水準之時,能以適當的風速供應,以達到適當的風速供應以達到經濟性成效。
另一方面欲達到潔凈室潔凈度之穩(wěn)定作用,均一氣流之保持亦為一重要因素,均一氣流若無法保持,表示風速有異,主要是在壁面,氣流會延著壁面發(fā)生渦流作用,此時要實現高潔凈度實際上很困難。
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